龙基光栅在大口径非球面定量测量中的应用

被引：9

作者：

雷柏平 ^{[1
,2
]}

伍凡 ^{[1
]}

周晨波 ^{[3
]}

机构：

[1] 中国科学院光电技术研究所

[2] 中国科学院研究生院

[3] 烟台大学光电学院

来源：

光学学报 | 2009年 / 29卷 / 09期

关键词：

衍射与光栅; 龙基(Ronchi)光栅; 定量检测; 图像处理; 非球面;

D O I：

暂无

中图分类号：

O436 [物理光学（波动光学）];

学科分类号：

摘要：

为了实现对大口径非球面在细磨和初抛光的加工过程中出现的较大误差的测量,提出了将龙基(Ronchi)光栅、图像采集以及数字图像处理技术相结合的一种较大误差的定量测试方法。介绍了该方法的基本原理、建立了数学模型、编制了相应的数字处理软件。利用该方法对一直径为140 mm,F数为2的凹形抛物面镜进行了测试实验。通过该测试方法以及数据处理软件,得到了准确的非球面面形分布图,检测结果与经典的干涉仪检测结果想比较,二者是相一致的。将为大口径非球面精磨和初抛光阶段提供一种有效、可靠的定量检测方法。

引用

页码：2441 / 2446

页数：6

共 11 条

[1] 用双计算全息图检测凹非球面 [J].