长程大型非球面轮廓测量仪的研究

被引：8

作者：

刘斌

王秋平

傅绍军

机构：

[1] 中国科学技术大学国家同步辐射实验室

来源：

关键词：

非球面; 光学检测; 斜度测量; 轮廓测量仪; 长程面形仪;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG803 [量仪的结构];

学科分类号：

摘要：

总结了常用大型非球面光学元件轮廓检测方法及其特点。详细阐述了用于同步辐射光学元件检测的长程面形仪的基本原理、发展阶段、关键技术、误差补偿、现状及发展方向。并介绍了合肥国家同步辐射实验室长程面形仪的进展。

引用

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页数：8

共 4 条

[1] 衍射型长程大型非球面轮廓测量仪 [J].

李直 ;

赵洋 ;

李达成 ;

肖体乔 ;

夏绍建 .

[2] 用于微位移测量的笔束激光干涉仪 [J].

李直 ;

赵洋 ;

李达成 .

[3]

Calibration of a vertical-scan long trace profiler at MSFC .2 Gubarev M V,Kester T,Takacs P Z. Proc. SPIE . 2001

[4]

The penta-prism LTP:A long-trace-profiler LTP with stationary optical head and moving penta-prism .2 Qian S,Jark W,Takacs P. Rev. Sci. Instr . 1995