用于微位移测量的笔束激光干涉仪

被引：3

作者：

李直

赵洋

李达成

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系!精密测试技术及仪器国家重点实验室

[2] 北京

来源：

关键词：

微位移测量; 笔束激光干涉仪; 光学傅立叶变换;

D O I：

10.13741/j.cnki.11-1879/o4.2001.03.005

中图分类号：

TH744.3 [];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

介绍了一种基于空间干涉原理的亚微米零差干涉位移测量方法。该方法是对笔束激光干涉仪在微位移测量领域的应用 ,干涉仪的测量精度不受光束波前畸变等光源噪声的影响。给出了干涉仪主要结构参数的选取原则 ;构建了用于微位移测量的笔束激光干涉仪实验系统。实验结果表明 ,该系统具有纳米测量分辨率。

引用

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