国内外MEMS器件现状及发展趋势

被引：110

作者：

童志义

赵晓东

机构：

[1] 中国电子科技集团公司第四十五研究所

[2] 中国电子科技集团公司第四十五研究所甘肃平凉

[3] 甘肃平凉

来源：

关键词：

MEMS; 国内外现状; 差距; 发展趋势; 产业化;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH703 [结构];

学科分类号：

080401 [精密仪器及机械];

摘要：

介绍了MEMS器件的发展历史 ,国内外研究和应用现状 ,对国内外差距进行了比较 ,给出了MEMS器件今后的一些发展趋势。同时 ,提出了推进MEMS器件产业化的建议

引用

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