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样品厚度对表面光电压法测试少子扩散长度的影响
被引：4
作者：
杨恒青
姜国庆
陈玉金
包宗明
机构：
[1] 复旦大学
来源：
关键词：
表面光电压法;
扩散长度;
厚度;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
本文定量分析了样品厚度d及单色光的透入深度α-1对表面光电压法测试少于扩散长度的影响,并从实验上进行了验证.本文还讨论了样品厚度对两点法直读少子扩散长度测试结果的影响,并给出从测得的表观扩散长度定出真实扩散长度的方法.观察了光生非平衡载流子的注入水平对扩散长度测试结果的影响.
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