石英挠性摆式加速度计闭环检测电路设计

被引:5
作者
高雅彪
毛伟玲
李醒飞
机构
[1] 天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室
关键词
石英挠性加速度计; 电容检测; 单载波调制;
D O I
10.16157/j.issn.0258-7998.2012.02.004
中图分类号
TH824.4 [];
学科分类号
0804 ; 080401 ; 081102 ;
摘要
设计了一种用于石英挠性加速度计系统中的闭环检测电路。开发了基于单载波调制的电容检测电路和伺服驱动电路,在功率放大电路前引入校正环节,提高加速度计系统的动静态性能。实验结果表明,电容检测电路线性度好,分辨力可达到10-16F量级,可检测到的上限差值电容约为7 pF。对加速度计表头进行了重力场翻滚试验,采用四点法对实验结果进行分析,得到了加速度计输出表达式。
引用
收藏
页码:70 / 72+76 +76
页数:4
相关论文
共 7 条
[1]  
高精度微弱电容检测技术研究.[D].邢本凤.哈尔滨工业大学.2010, 02
[2]  
电容式微机械加速度传感器检测电路研究.[D].林伟俊.浙江大学.2010, 08
[3]  
惯性导航加速度计.[M].何铁春;周世勤同编著;.国防工业出版社.1983,
[4]   单载波调制型加速度计差分电容检测电路 [J].
周海涛 ;
李立京 ;
张晞 ;
李琳 .
数据采集与处理, 2009, 24(S1) (S1) :224-228
[5]   电容式微加速度计闭环检测电路 [J].
宋星 ;
房建成 ;
盛蔚 .
北京航空航天大学学报, 2009, 35 (03) :384-388
[6]   高灵敏度差分电容检测电路的研究 [J].
王俊杰 ;
罗裴 .
武汉理工大学学报, 2004, (09) :10-12+16
[7]   石英电容伺服加速度计 [J].
郭振芹 ;
段尚枢 ;
王衍贵 .
哈尔滨工业大学学报, 1985, (S9) :58-65