一种新型的大曲率半径实时检测系统

被引:5
作者
杨甬英
陈坚
机构
[1] 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室!浙江杭州
关键词
干涉仪; 曲率半径测量; 图像处理; 非接触测量;
D O I
暂无
中图分类号
TN247 [光检测技术];
学科分类号
0803 ; 080401 ; 080901 ;
摘要
在分析各种大曲率半径测量方法的基础上 ,提出了一种新颖的利用干涉体系产生非接触的牛顿环并与 CCD图像处理技术相结合的新方法。其可测量的曲率半径从 1~ 2 5 m,具有很宽的测量范围 ,而整个测试体系结构却非常紧凑 ,不受凹、凸球面限制。理论分析及初步实验结果表明 :曲率半径测量的相对误差ΔR/ R可优于 0 .3 %
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共 2 条
[1]   用最小二乘法提高 CCD 干涉计量的精度 [J].
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