光栅投影式轮廓测量中两种误差的分析

被引：13

作者：

郝煜栋

赵洋

李达成

机构：

[1] 清华大学精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京,清华大学精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京,清华大学精密仪器系,精密测试技术及仪器国家重点实验室!北京

来源：

关键词：

光栅投影; 轮廓测量; 像点位移;

D O I：

暂无

中图分类号：

O438 [信息光学];

学科分类号：

摘要：

以像点位移的概念阐述了光学投影式轮廓测量法的原理和关键任务 ,详细分析了从相位到像点位移和从像点位移到高度的两项不可忽略的误差源 ,并给出了误差补偿方法。数值仿真和实验结果证明了这些方法的有效性

引用

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