一种纳米精度偏振干涉仪光学系统的研究

被引：7

作者：

郭新军

王霁

严家骅

周自力

机构：

[1] 北京理工大学光电工程系

[2] 长城计量测试研究所

[3] 长城计量测试研究所北京

[4] 北京

来源：

红外与激光工程 | 2004年 / 01期

关键词：

纳米测量; 偏振干涉仪; 光学细分;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN241 [激光物理和基本理论];

学科分类号：

0702 ; 070207 ;

摘要：

本干涉仪采用偏振测量和偏振接收装置。对干涉仪光路中激光的偏振态转换进行了详细的理论分析,对偏振干涉仪以及双频干涉仪的研制具有借鉴意义。该装置的重复性试验表明干涉仪重复性在30nm之内,说明干涉仪的性能比较可靠。如果对环境条件进行严格的控制,会得到更高的测量精度,有望实现纳米精度测量。

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共 3 条

[1] 半导体激光干涉仪在微振动测量中的应用 [J].

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