双Fabry-Perot干涉纳米测量控制系统的设计

被引：1

作者：

陈本永

朱若谷

吴昭同

机构：

[1] 浙江大学机械系精密测量教研室!浙江杭州

[2] 中国计量学院计测系精密仪器教研室!浙江杭州

来源：

光电工程 | 2001年 / 01期

关键词：

纳米测量; Fabry-Perot干涉仪; 模糊控制; 数学模型;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

摘要：

设计了一种基于双 Fabry- Perot干涉仪的新型纳米测量系统 ,阐述了系统各环节的数学模型。针对探针与样品表面相互作用的数学模型比较复杂的特点 ,详细设计了基于模糊控制理论的控制系统 ,提出了通过控制探针振动曲线中线不变进行纳米测量的理论依据及实测方法。在此基础上 ,对系统进行了仿真实验 ,实验结果充分证明了系统设计及理论依据的正确性

引用

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