金属氧化物纳米点薄膜的模板法合成

被引：7

作者：

郜涛

孟国文

张立德

机构：

[1] 中国科学院固体物理研究所,中国科学院固体物理研究所,中国科学院固体物理研究所合肥,合肥,合肥

来源：

中国科学院研究生院学报 | 2003年 / 01期

关键词：

纳米点薄膜; 模板法合成; 金属氧化物;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484 [薄膜物理学];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

报道了一种简便的金属氧化物纳米点薄膜的合成方法.首先制备了具有有序纳米凹坑阵列的多孔阳极氧化铝模板,然后在模板表面真空蒸镀金属薄膜,对所制备的金属薄膜进行氧化处理,得到了具有有序纳米点阵列的金属氧化物纳米点薄膜.纳米点的直径约为 1 0 0nm,高度约为 45nm,以六边形有序排列,密度约为 2× 1 0 1 3个/m2 .

引用

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