区域分裂法在提取多层介质中多导体三维复杂互连结构电磁参数中的应用

被引：2

作者：

季皓，洪伟

机构：

[1] 东南大学毫米波国家重点实验室

来源：

电子学报 | 1997年 / 11期

关键词：

三维互连，参数提取，区域分裂法;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN011 [电波传播、传播机理];

学科分类号：

080904 ;

摘要：

本文首次将区域分裂法（ＤＤＭ）用于多层介质中多导体三维复杂互连结构的电磁参数的提取，可以快速、准确地提取复杂互连结构的静态电容矩阵．由于区域分裂法能把大问题化为若干独立的小问题，不仅可以缩小计算规模，而且可以在该算法框架下灵活地组合各种三维互连结构，具有很强的灵活性．再充分利用集成电路结构分层的特点，对各个小问题采用最恰当的计算方法，从而可大大减少整体计算所需的时间和存储空间．文中给出的计算结果与Ａｎｓｏｆｔ软件的计算结果吻合得较好，而计算所需的时间和存储空间仅为Ａｎｓｏｆｔ的三维参数提取软件所需计算机资源的几十分之一．

引用

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