共 3 条
[1]
[2]
[3]
毛细管电泳芯片制备工艺研究
被引：5
作者：
杨承
黄成军
刘锋
于军
机构：
[1] 华中科技大学电子科学与技术系
[2] 华中科技大学电子科学与技术系 湖北武汉
[3] 湖北武汉
来源：
关键词：
毛细管电泳芯片;
SU-8光刻胶;
光刻;
D O I：
10.13245/j.hust.2004.07.032
中图分类号：
TN405 [制造工艺];
学科分类号：
140103 [集成电路制造工程];
摘要：
叙述了采用SU 8和PDMS制作毛细管电泳芯片的一种新工艺、新方法 ,对SU 8的四个工艺参数 :前烘温度与时间、后烘温度与时间、曝光时间以及显影时间进行了工艺优化 ,结果表明使用该方法加工工艺简单 ,芯片重复性好 ,成本低 ,适用于采用激光诱导荧光检测法进行检测 ,并在制备的毛细管电泳芯片上实现了不同长度DNA片段的快速有效分离
引用
收藏
页码：92 / 94
页数：3
相关论文