离子束辅助沉积真空镀膜技术制备阵列波导光栅波导材料

被引：2

作者：

鲁平 ^{[1
]}

聂明局 ^{[1
]}

刘德明 ^{[1
]}

马卫东 ^{[2
]}

机构：

[1] 华中科技大学光电子工程系

[2] 武汉光迅科技有限公司

来源：

中国激光 | 2006年 / 05期

关键词：

导波光学; 阵列波导光栅; 离子束辅助沉积真空镀膜技术; 偏振相关性; 热稳定性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN252 [光波导];

学科分类号：

0702 ; 070207 ;

摘要：

采用离子束辅助沉积(IBAD)真空镀膜技术制备阵列波导光栅(AWG)波导材料。以固体石英玻璃材料作为衬底,采用离子束辅助沉积真空镀膜制备SiO2膜层,以实现偏振不敏感的阵列波导光栅。实验表明器件的偏振相关性大大改善,其双折射B约为1.4077×10-5,远小于二氧化硅-硅基波导结构阵列波导光栅的双折射B=2×10-4。器件的热稳定性也得以改善,当工作环境的温度变化范围为-10～70℃时,采用此方法研制的阵列波导光栅最大波长漂移为1.144 nm,小于普通的二氧化硅-硅基波导结构阵列波导光栅的波长漂移1.368 nm。

引用

页码：679 / 682

页数：4

共 4 条

[1]

离子束辅助真空电弧沉积纳米ZrN及（Zr，Me）N薄膜的研究.[D].刘丽红.广东工业大学.2004, 03

[2] 厚二氧化硅光波导薄膜制备及其特性分析 [J].

娄丽芳 ;

盛钟延 ;

姚奎鸿 ;

肖丙刚 ;

何赛灵 .

光学学报, 2004, (01) :24-28

[3] 阵列波导光栅线性系统理论分析及优化设计 [J].

鲁平 ;

刘德明 ;

曹倩 ;

黄德修 ;

孙军强 .

光学学报, 2003, (07) :804-808

[4] 掺Yb光纤激光器输出波长温度漂移补偿的研究 [J].

乔启全 ;

陈柏 ;

陈嘉琳 ;

范薇 ;

李学春 ;

薛绍林 ;

林尊琪 .

中国激光, 2003, (04) :300-302

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