基于光探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法

被引：12

作者：

糜长稳

王克逸

李明

章荣平

机构：

[1] 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,中国科学技术大学精密机械与精密仪器系,中国科学技术大学精密机械与精密仪器系合肥,合肥,合肥,合肥

来源：

关键词：

光探针; 自聚焦透镜; 光斑测量;

D O I：

暂无

中图分类号：

O435 [几何光学];

学科分类号：

070207 ; 0803 ;

摘要：

以扫描探针显微理论为基础 ,讨论了基于光学纤维探针技术的自聚焦透镜光斑测量方法 ,介绍了实验系统的构成和测量原理、光学探针的制作和软件控制技术 ,并且以日本产NSG自聚焦透镜为样品进行了光斑测量和分析所得结果对于评价自聚焦透镜的成像性能具有重要意义

引用

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