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尺蠖式压电陶瓷驱动电源设计
被引:2
作者:
郑楠
王学亮
李佩玥
机构:
[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室
来源:
关键词:
压电陶瓷驱动器;
尺蠖运动;
驱动电源;
微位移;
D O I:
10.19652/j.cnki.femt.2014.08.013
中图分类号:
TN384 [铁电及压电器件];
学科分类号:
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要:
为了满足尺蠖式压电陶瓷驱动器的控制需要,设计了相应的驱动电源。DSP是控制器,通过网口接收上位机的控制命令,通过异步总线与FPGA进行数据通信,FPGA操作4路D/A生成4路满足相应时序要求的波形,波形经过精密运放前级放大和由分立元器件搭建的功率放大,输出到尺蠖式压电陶瓷驱动器的电源输入端。测试和试验表明,电源带宽高,纹波小,阶跃响应特性和动态特性良好,能够精确的控制尺蠖式压电陶瓷驱动器微位移定位,可以应用在精密工程技术领域中。
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页数:4
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