微惯性仪表技术的研究与发展

被引：13

作者：

丁衡高

王寿荣

黄庆安

裘安萍

万德钧

周百令

苏岩

机构：

[1] 东南大学

[2] 东南大学江苏南京

[3] 江苏南京

来源：

中国惯性技术学报 | 2001年 / 04期

关键词：

微惯性仪表; 微机械陀螺; 计算机集成微制造单元;

D O I：

10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2001.04.009

中图分类号：

TH82 [力学量测量仪表];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

论述了当前国内外微惯性仪表设计和制造技术的研究与发展,强调了对相关基础理论研究的重要性,提出了计算机集成微制造单元的概念。

引用

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页码：47 / 50+74

页数：5

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共 3 条

[1] 微机电系统的科学研究与技术开发 [J].

丁衡高 .

清华大学学报(自然科学版), 1997, (09) :3-7

[2] 面向21世纪的军民两用技术微米／纳米技术 [J].

丁衡高 .

中国惯性技术学报, 1995, (02) :1-7

[3]

硅微型惯性器件理论及应用[M]. 东南大学出版社 , 王寿荣编著, 2000