基于扫描白光干涉法的接触式表面形貌轮廓测量仪

被引：11

作者：

张玲玲

谢铁邦

机构：

[1] 华中科技大学机械学院仪器系

来源：

关键词：

扫描白光干涉法; 重心法; 接触式测量; 表面形貌;

D O I：

暂无

中图分类号：

TG84 [表面光洁度（表面粗糙度）的测量及其量仪];

学科分类号：

120111 [工业工程];

摘要：

本文提出了一种以杠杆触针机构作为微位移传感器,将扫描白光干涉法运用于接触式表面形貌测量的轮廓仪。该仪器的理论分辩力可达纳米级,与垂直扫描测量工作台相结合,测量范围可达5mm。文中重点论述了该轮廓仪测量系统的构成,测量原理,干涉信号数据处理。

引用

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