水辅助激光加工技术的实验研究

被引：13

作者：

朱波

齐立涛

王扬

机构：

[1] 哈尔滨工业大学号

来源：

关键词：

激光; 不锈钢; Al2O3陶瓷; 单晶硅; 水辅助加工;

D O I：

10.16731/j.cnki.1671-3133.2003.12.028

中图分类号：

TG665 [光能加工设备及其加工];

学科分类号：

080201 ;

摘要：

介绍水辅助激光打孔和切割实验研究。研究表明 ,用毫秒级YAG脉冲激光对不锈钢和Al2 O3 陶瓷加工时 ,熔屑易从加工区排出 ,有助于提高加工的表面质量 ;加工单晶硅时 ,加工表面易产生微裂纹 ,使加工质量变差。激光通过水层时 ,有能量损失 ,水层深度越深 ,能量损失越大。

引用

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