激光跟踪仪测量二次离轴非球面曲率半径的方法

被引：4

作者：

郭玲玲 ^{[1
,2
]}

张星祥 ^{[1
]}

任建岳 ^{[1
]}

张立国 ^{[1
]}

付天骄 ^{[1
,2
]}

机构：

[1] 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所

[2] 中国科学院大学

来源：

激光与光电子学进展 | 2013年 / 09期

关键词：

测量; 光学检测; 离轴非球面; 激光跟踪仪; 曲率半径; 曲面拟合;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN247 [光检测技术];

学科分类号：

摘要：

为了测量离轴非球面镜的曲率半径、圆锥系数等参数,提出了一种使用激光跟踪仪快速测量二次非球面的方法。重点介绍了使用激光跟踪仪得到空间三维坐标后的数据处理方法。实验中对一离轴非球面反射镜进行了测量,通过非线性最小二乘拟合得到了其曲率半径及圆锥系数,拟合结果均方根误差(RMSE)约为1.6μm,确定系数约为0.999999954,所得曲率半径及圆锥系数与已有测量方法相差很小。理论分析以及实验结果表明,该方法简单通用,易于实施,数据处理过程快速可靠,适用于二次非球面镜曲率半径等参数的测量。

引用

页码：96 / 101

页数：6

共 9 条

[1] 用计算全息图对非球面的高精度检测与误差评估 [J].