多腔诱导透射滤光片缺陷的成因分析及抑制

被引：1

作者：

卢宝文 ^{[1
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徐学科 ^{[1
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刘光辉 ^{[1
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胡国行 ^{[1
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刘晓凤 ^{[1
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范正修 ^{[1
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机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所中国科学院强激光材料重点实验室

[2] 中国科学院研究生院

来源：

光学学报 | 2010年 / 30卷 / 07期

关键词：

光学薄膜; 诱导透射滤光片; 薄膜缺陷; 酸洗工艺; 缺陷深度;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

多腔诱导透射滤光片制备后出现的缺陷,严重地影响了薄膜样品的品质以及环境稳定性。实验用热蒸发的方法在室温浮法玻璃基底上制备了四腔诱导透射滤光片。用光学显微镜观测了缺陷的形貌,将缺陷分为不同类型的点状缺陷和线状缺陷,并结合光学轮廓仪和电子能量散射谱仪分析了缺陷的深度以及元素成份。分析结果显示,基片污染、喷溅以及应力、亚表面缺陷等综合因素是诱发缺陷产生的主要原因。为减少缺陷数量以及其尺寸和深度,实验验证了基底酸洗工艺对缺陷的抑制效果,证明了酸洗工艺具有可行性。最后结合缺陷产生的可能原因提出了制备工艺改进措施,已经取得了较好的成果。

引用

页码：2149 / 2153

页数：5

共 15 条

[1] 光学薄膜界面粗糙度互相关特性与光散射 [J].