薄Si膜对基底表面粗糙度的影响

被引：8

作者：

邵建达，范正修，易葵，王润文

机构：

[1] 中国科学院上海光机所

来源：

关键词：

均方根粗糙度，ZYGO光学干涉测量，Si膜;

D O I：

暂无

中图分类号：

O484.4 [薄膜的性质];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

利用ＺＹＧＯ光学干涉测量仪，散射积分测量法观测了光学元件表面均方根粗糙度．详细分析了薄Ｓｉ膜对基底均方根粗糙度的影响，由此认为薄膜并不总是复制基底表面的粗糙度，结果出现了薄膜降低表面粗糙度的现象．提出了一定厚度范围的薄Ｓｉ膜的表面粗糙度存在着一个稳定值的新设想．

引用

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