相移雅满横向剪切干涉仪

雅满横向剪切干涉仪是一种很重要的波面枪测仪器,特别是可以对白光的波面进行检测。为了弥补传统雅满横向剪切十涉仪的不足,提出了一种相移雅满横向剪切十涉仪。它是在雅满横向剪切干涉光路中插入起偏器,1/4波片和检偏器所形成,实现了剪切干涉与相移的结合,能有效地提高测量精度,可适用于白光的波面检测,结构简单且操作方便。实验中通过旋转检偏器获得了相移下涉图,其结果很好地验证了该相移雅满横向剪切十涉仪的有效性。