硅压力传感器的可靠性试验方法及失效分析

被引：13

作者：

齐虹

王蕴辉

易德兴

王善慈

机构：

[1] 信息产业部电子第四十九研究所!黑龙江哈尔滨

[2] 信息产业部电子第五研究所!广东广州

来源：

关键词：

可靠性; 试验方法; 失效模式; 压力传感器;

D O I：

10.13873/j.1000-97872001.04.009

中图分类号：

TP212 [发送器（变换器）、传感器];

学科分类号：

080202 ;

摘要：

通过对一种特定结构的硅压力传感器进行动态综合应力寿命试验 ,探讨了硅压力传感器的可靠性实验方法 ;并对失效样品进行了解剖分析 ,研究了它在温度、电压和压力共同作用下的失效机理 ,分析了产品设计、工艺与可靠性的关系 ,提出了相应的改进措施。

引用

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