MSM光电探测器电磁场特性的TLM方法模拟

被引：1

作者：

石世长

王庆康

机构：

[1] 上海交通大学微电子技术研究所!

来源：

固体电子学研究与进展 | 2001年 / 01期

关键词：

传输线矩阵方法; 金属-半导体-金属光电探测器; 指栅电容;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN256 [集成光学器件];

学科分类号：

摘要：

介绍了利用传输线矩阵方法模拟和分析金属 -半导体 -金属光电探测器指栅电容的频率响应。应用时域电磁场三维 TL M方法模拟分析了指栅间距和指栅间的耦合长度与光电探测器截止频率的关系。文中还报道了本项研究所开发的三维电磁场时域模拟器 TLM Simulator 2 .0及其功能。数值实验结果说明模拟器对微波结构的电磁场模拟是精确、有效的 ,具有很好的应用价值。

引用

页码：43 / 49

页数：7