非接触测量物体表面粗糙度的研究

被引：6

作者：

李胜利

徐敏

姚鹏

金泰义

机构：

[1] 中国科学技术大学精密机械与精密仪器系

来源：

关键词：

粗糙度,CD激光头,四象限光电二极管,乘法解调;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用]; TG84 [表面光洁度（表面粗糙度）的测量及其量仪];

学科分类号：

080904 [电磁场与微波技术]; 120111 [工业工程];

摘要：

ＣＤ机中，为跟踪盘片，其伺服系统必须能检测到盘片的微小的位移。在本论文中，将ＣＤ头的工作原理应用到物体表面粗糙度的测量当中，可使测量系统小型化，使用更方便

引用

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