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[1]
激光测微仪测量准确度的研究
被引：2
作者：
李胜利
宋鹏
金泰义
徐育
机构：
[1] 中国科学技术大学
来源：
关键词：
光学三角法测量，位移测量，半导体激光器，位敏器件;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH822.01 [];
学科分类号：
摘要：
本文分析了激光测微仪测量部分的基本原理，讨论了主要部件所带来的测量误差，并在此基础上报出了有效的误差校正方法，以提高仪器的测量准确度。
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页数：4
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