双闭环控制的生物芯片点样仪

被引:4
作者
闫献勇
李建国
吴岚军
机构
[1] 中国科学院电工研究所
[2] 中国科学院电工研究所 北京
[3] 北京
[4] 北京
关键词
闭环控制; 光栅尺; 点样仪;
D O I
暂无
中图分类号
TN492 [专用集成电路];
学科分类号
摘要
在高定位精度的运动系统中,光栅尺做为位置反馈元件大量使用。本点样仪选用Galil公司的DMC1800控制卡、松下交流伺服电机、雷尼绍光栅尺和贝塞德运动单元,定位精度可以满足设计要求。控制软件采用VB编写。
引用
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