离子注入诱导量子阱界面混合效应的光致荧光谱研究

被引:7
作者
陈贵宾
陆卫
缪中林
李志锋
蔡炜颖
沈学础
陈昌明
朱德彰
胡钧
李明乾
机构
[1] 中国科学院上海技术物理研究所红外物理国家重点实验室
关键词
量子阱; 离子注入; 光致荧光谱; 界面混合;
D O I
暂无
中图分类号
O471 [半导体理论];
学科分类号
070205 ; 080501 ; 0809 ; 080903 ;
摘要
采用多元芯片方法获得了一系列不同离子注入剂量的GaAs AlGaAs非对称耦合量子阱单元 ,通过光致荧光谱测量 ,研究了单纯的离子注入导致的界面混合效应 .荧光光谱行为与有效质量理论计算研究表明 ,Al原子在异质结界面的扩散在离子注入过程中已基本完成 ,而热退火作用主要是去除无辐射复合中心 .
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页数:4
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