共 1 条
微电子机械系统的发展及未来
被引：1
作者：
乔希竹
机构：
[1] 南京电子器件研究所!南京
[2] 不详
来源：
关键词：
微电子机械系统;
微传动装置;
D O I：
10.19453/j.cnki.1005-488x.2000.01.008
中图分类号：
TP21 [自动化元件、部件];
学科分类号：
0804 ;
080401 ;
080402 ;
摘要：
介绍了微电子机械系统（MEMS）的技术、材料、器件及应用，讨论了它的发展趋势及将来的市场。
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