基于虚拟仪器的高载条件下MEMS动态测试系统

被引：19

作者：

孙屹博

王晓东

佘东生

王涛

王立鼎

机构：

[1] 大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室

来源：

仪器仪表学报 | 2009年 / 30卷 / 01期

基金：

国家自然科学基金重点项目;

关键词：

MEMS; 动态测试; 高载; 虚拟仪器;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.2009.01.006

中图分类号：

TH707 [运行与维修];

学科分类号：

0804 ; 080401 ; 081102 ;

摘要：

利用虚拟仪器技术开发了高载条件下MEMS动态测试系统,实现了高载条件的监测与MEMS动态测试的自动控制。设计了高速离心转盘提供高载环境,选用压电陶瓷作为动态测试的激励装置,应用高速导电滑环传输数据。测试中的高频响应信号按DMA方式采集,此过程占用系统DMA资源,与监测相互冲突。提出上位机通过TCP/IP协议控制下位机进行高速采集的方法,解决了冲突问题。本文对系统的总体设计、软件技术、系统功能等方面做出详细阐述。

引用

页码：29 / 34

页数：6

共 7 条

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