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透明导电氧化物薄膜研究现状与产业化进展
被引：28
作者：
赵谢群
机构：
[1] 北京有色金属研究总院!北京
来源：
关键词：
TCO;
ITO;
AZO;
光电性质;
制备工艺;
应用现状;
产业化前景;
D O I：
10.14106/j.cnki.1001-2028.2000.01.019
中图分类号：
TN304.055 [];
学科分类号：
0805 ;
080501 ;
080502 ;
080903 ;
摘要：
综述了 TCO(透明导电氧化物 )薄膜研究开发的历史与现状 ,展望了产业化前景。传统的 ITO薄膜性能优异 ,是重要的平面显示器件用材料。新型 Zn O薄膜成本低廉 ,极具发展潜力 ,有望在太阳能电池领域取代 ITO(掺锡氧化铟 )。多元复合氧化物薄膜是 TCO的发展方向之一 ;柔性衬底的应用扩大了 TCO薄膜的用途 ;溶胶 -凝胶制备工艺的开发促进了大面积 TCO薄膜的实用化
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