金属膜衬底上亚波长介质光栅结构的特性及传感应用

被引：9

作者：

马伟涛 ^{[1
]}

周骏 ^{[1
]}

黄水平 ^{[1
]}

苑红伟 ^{[2
]}

机构：

[1] 宁波大学理学院

[2] 江苏大学机械工程学院

来源：

中国激光 | 2011年 / 38卷 / 09期

关键词：

传感器; 导模共振; 亚波长光栅; 严格耦合波分析;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN252 [光波导];

学科分类号：

0702 ; 070207 ;

摘要：

提出亚波长介质光栅-金属膜-石英玻璃衬底结构,根据等效介质理论该结构可等效为由金属-光栅-包覆层构成的单面金属包覆波导,在入射波长和入射角满足一定条件时,发生导模共振(GMR)从而产生光波全吸收现象。根据严格耦合波分析(RCWA)理论进行数值分析发现,等效波导中的TM1 GMR峰尖锐,并且对光栅包覆层的折射率变化非常敏感,角度灵敏度为127.87°/RIU(RIU为折射率单位),波长灵敏度为409.35 nm/RIU,在很大的折射率范围内线性度良好。与全介质GMR传感器和光栅型表面等离子体共振(SPR)传感器相比,该结构通过GMR实现较高灵敏度的同时,其较窄的共振峰使得检测精度更高。

引用

页码：135 / 139

页数：5

共 6 条

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