导模共振滤光片表面镀膜对其物理特性的影响

被引：7

作者：

张大伟

袁丽萌

黄元申

倪争技

陈麟

朱亦鸣

庄松林

机构：

[1] 上海理工大学上海市现代光学系统重点实验室

来源：

中国激光 | 2009年 / 36卷 / 11期

关键词：

薄膜; 亚波长光栅; 薄膜生长; 占空比; 正弦槽形; 导模共振;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

为了研究亚波长光栅表面上薄膜的生长特性,以及镀膜对亚波长光栅物理特性的影响,对亚波长正弦槽形光栅表面上镀的Au膜进行了实验研究和理论分析。实验发现,当光栅槽深为80nm,Au膜为100nm时,薄膜的生长是仿形生长,光栅的正弦槽形特征和周期都基本没有发生变化,但镀膜后,出现光栅的正弦占空比增加、槽的深度减小以及槽深的均匀性变差等现象。对引起这种现象的原因进行了分析,提出了由于光栅微结构而给薄膜生长带来的阴影效应现象,并分析了正弦占空比增加对导模共振滤光片光谱特性的影响。

引用

页码：3060 / 3063

页数：4

共 12 条

[1]

Design of guided mode resonant filters for authentication applications through azimuthal angles varying[J]. 张大伟,袁丽萌,陈家璧,庄松林,贺洪波.Chinese Optics Letters. 2008(10)

[2] 脉冲激光沉积法制备钛酸锶钡薄膜及其光电性质 [J].