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溶胶-凝胶法在玻璃表面涂膜
被引:2
作者:
蒋洋
肖光华
梁开明
机构:
[1] 清华大学材料科学与工程系
[2] 清华大学材料科学与工程系 北京
[3] 北京
来源:
关键词:
溶胶-凝胶法;
SiO2薄膜;
玻璃基体;
正硅酸乙酯;
D O I:
暂无
中图分类号:
TB43 [薄膜技术];
学科分类号:
0805 ;
摘要:
利用溶胶-凝胶法以浸涂方式在玻璃基体上制备了SiO2薄膜,研究了某些工艺参数,尤其是加水量R(水与正硅酸乙酯的摩尔比)对薄膜形成过程及薄膜质量的影响,用SEM观察了不同薄膜的微观结构,并结合SiO2的溶胶-凝胶过程中聚合物的结构及涂膜特性进行了讨论。结果表明,在R<2或R>20时,并且添加适量添加剂的溶胶,能够制得结构均匀而不开裂的SiO2薄膜。
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