双频激光干涉仪技术现状与发展

被引：47

作者：

所睿

范志军

李岩

张书练

机构：

[1] 清华大学精密仪器与机械学系精密测试技术与仪器国家重点实验室

来源：

激光与红外 | 2004年 / 04期

关键词：

双频激光干涉仪; 外差干涉; 高分辨率; 高精度; 高测速;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH744 [物理光学仪器];

学科分类号：

摘要：

文章概述了国内外双频激光干涉仪产品的现状,介绍了近年来双频激光干涉仪向高分辨率、高精度、高测速等几个方向的发展趋势。

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页数：3

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