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塞曼激光外差干涉仪的非线性分析及校正
被引：4
作者：
邱宗明
刘君
郭彦珍
机构：
[1] 西安理工大学机械与精密仪器学院
来源：
关键词：
外差干涉仪；非线性；校正;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744.3 [];
学科分类号：
摘要：
Ｈｅ－Ｎｅ激光器施加纵向磁场或横向磁场构成的纵向塞曼激光器和横向塞曼激光器，是激光外差干涉仪最常用的光源．外差干涉仪原理表明，干涉仪所测位移和仪器测得的光电信号的相位变化，是线性关系．而实际上由于光源和光学系统难于达到理想状态，使二者之间产生了周期性非线性，导致纳米、亚纳米测量难以实现．本文分析了引起非线性的原因及其特性，提出了校正和减小非线性的方法，并证实了其有效性．
引用
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