ZnO超微粒子膜的形成因素及三束表面改性对其形貌、结构的影响

被引：2

作者：

赵大春，潘孝仁

机构：

[1] 华东理工大学物理系，华东理工大学真空光电子材料研究所

来源：

华东理工大学学报 | 1994年 / 01期

关键词：

氧化锌；超微粒子；结构；电子束；离子束；激光束;

D O I：

10.14135/j.cnki.1006-3080.1994.01.013

中图分类号：

O484.1 [薄膜的生长、结构和外延];

学科分类号：

080501 ; 1406 ;

摘要：

用直流气体放电活化反应沉积法，制备了ＺｎＯ超微粒子（ＺｎＯＵＦＰ）。讨论了影响ＺｎＯＵＦＰ的形成因素；研究了三束（离子束、电子束、激光束）表面改性及等离子体、退火处理对ＺｎＯＵＦＰ的形貌和结构的影响。结果表明，ＺｎＯＵＦＰ有长大趋势，局部变成致密连续；且在激光束作用下ＺｎＯＵＦＰ出现析晶，同时原有的晶面择优生长趋势受到抑制，晶粒长大。

引用

页码：70 / 74

页数：5