水浴条件下YAG倍频、三倍频激光切割Si片比较

被引：2

作者：

凌磊

楼祺洪

李抒智

叶震寰

马海霞

董景星

机构：

[1] 中国科学院上海光学与精密机械研究所,中国科学院上海光学与精密机械研究所,中国科学院上海光学与精密机械研究所,中国科学院上海光学与精密机械研究所,中国科学院上海光学与精密机械研究所,中国科学院上海光学与精密机械研究所上海,上海,上海,上海,上海,上海

来源：

关键词：

YAG固体倍频激光; 切割; Si片; 水浴;

D O I：

暂无

中图分类号：

TN249 [激光的应用];

学科分类号：

0803 ; 080401 ; 080901 ;

摘要：

对Nd∶YAG固体激光器倍频、三倍频激光输出在空气和水浴环境下刻蚀Si片进行了研究,分析了刻蚀速率和样品表面形貌,得出了在355nm刻蚀波长下,水浴环境中,刻蚀速率最快,刻槽宽度最小,小于10μm的实验结论,为工业应用提供参考

引用

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