一种新型聚合物微透镜阵列的制造技术

被引：18

作者：

王伟 ^{[1
,2
]}

周常河 ^{[1
]}

机构：

[1] 中国科学院上海光学精密机械研究所信息光学实验室

[2] 中国科学院研究生院

来源：

中国激光 | 2009年 / 36卷 / 11期

关键词：

光学制造; 微透镜阵列; 光刻胶热熔法; 软刻蚀; 压印技术;

D O I：

暂无

中图分类号：

TH74 [光学仪器];

学科分类号：

0803 ;

摘要：

提出了一种利用软模压印制备微透镜阵列的技术。采用传统的光刻胶热熔方法制备微透镜阵列母板,利用复制模具的方法在聚二甲基硅氧烷(PDMS)上得到一个和母板表面图形相反的模具,最后通过压印的方法把PDMS模具上的图形转移到涂有紫外固化胶的玻璃基片上,待紫外胶完全固化后可得到和母板一致的微透镜阵列。经过测试微透镜阵列的焦点图像和表面形貌可发现最后制备的微透镜阵列表面形貌均匀、聚焦性能良好、光强均匀。

引用

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