石英微机械陀螺的研究进展

被引：5

作者：

关冉

张卫平

陈文元

张弓

成宇翔

机构：

[1] 上海交通大学微纳科学技术研究院微米/纳米加工技术重点实验室

来源：

微纳电子技术 | 2012年 / 49卷 / 03期

关键词：

石英; 微机械陀螺; 压电效应; 科氏加速度效应; 微电子机械系统(MEMS);

D O I：

暂无

中图分类号：

V241.5 [陀螺仪表];

学科分类号：

08 ; 0825 ;

摘要：

首先介绍了石英微机械陀螺基于压电效应和科氏加速度的工作原理,回顾了石英微机械陀螺的发展历程,并且介绍了石英微机械陀螺的国内外发展现状。然后,针对石英微机械陀螺不同的结构进行了分类,并且对于不同结构的石英微机械陀螺的具体加工工艺、性能参数、应用领域等进行了综述。最后,对不同结构类型的石英微机械陀螺的尺寸、加工工艺,检测轴向,精度等参数进行了总结和对比,在此基础上分析了石英微机械陀螺的发展趋势,并指出了石英微机械陀螺研究中存在的问题,例如石英加工过程中产生的侧壁晶棱的不平整、石英侧壁电极的制作困难以及石英微机械陀螺多轴化应用的限制等。

引用

页码：173 / 180

页数：8

共 12 条

[1]

Design and Characterization of a Novel Z-axis Quartz Cross-fork Micromachined Gyroscope[J]. XIE Liqiang 1, 2, * , WU Xuezhong 1 , LI Shengyi 1 , WANG Haoxu 1 , TAO Yi 1, 3 , and DONG Peitao 1 1 College of Mechatronics Engineering and Automation, National University of Defense Technology, Changsha 410073, China 2 Engineering Institute of Engineering Corps, PLA University of Science and Technology, Nanjing 210007, China 3 Wuhan Ordnance N. C. O. Academy, Wuhan 430075, China.Chinese Journal of Mech

[2] 基于科氏加速度的微陀螺 [J].

刘凯 ;

张卫平 ;

陈文元 ;

李凯 ;

肖奇军 ;

马高印 .

压电与声光, 2010, 32 (03) :379-385

[3] 石英音叉陀螺误差分析 [J].

金小锋 ;

陶晋 ;

邹江波 .

传感技术学报, 2008, (02) :252-254

[4] 微电子技术在石英微机械振动陀螺中的应用 [J].

林日乐 ;

张巧云 ;

谢佳维 ;

翁邦英 ;

王瑞 ;

赵建华 .

中国惯性技术学报, 2004, (04) :45-48

[5] 惯性传感器技术及发展 [J].

徐景硕 .

传感器技术, 2001, (05) :1-4

[6] 压电陀螺的发展及应用 [J].

吕志清 .

压电与声光, 1984, (05) :6-14

[7]

基于剪应力检测的新型石英微陀螺关键技术研究[D]. 谢立强.国防科学技术大学. 2010

[8]

压电器件[M]. 电子工业出版社 , 吴毅强, 1995

[9]

压电晶体陀螺[M]. 国防工业出版社 , 张福学编著, 1981

[10]

Development of an Ultra-Small Angular Rate Sensor Element with a Laminated Quartz Tuning Fork .2 Takahiro Ohtsuka,Takahiro Inoue,Masahiro Yoshimatsu,Hideryo Matsudo,Masanobu Okazaki. Proceedings of the 2006 IEEE International Conference on Frequency Control symposium and Exposition . 2006

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