新型非致冷红外探测器

被引：8

作者：

刘兴明

韩琳

刘理天

机构：

[1] 清华大学微电子学研究所

来源：

关键词：

非致冷红外探测器; 微测辐射热计; 非晶硅薄膜晶体管; 红外探测器; 机械式探测器;

D O I：

10.16818/j.issn1001-5868.2005.05.002

中图分类号：

TN215 [红外探测、红外探测器];

学科分类号：

摘要：

介绍了近年来出现的各种新型非致冷红外探测器,对不同探测器的基本工作原理、器件结构、制作工艺以及性能的优缺点进行了讨论和对比,并对非致冷红外探测器的改进方向进行了预测。

引用

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