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近代光学测试技术[M]. 机械工业出版社 , 杨国光 主编, 1986
纳米级二维激光外差干涉仪的设计
被引：3
作者：
陈晓梅
曹航
周自力
亓爱会
机构：
[1] 长城计量测试技术研究所
来源：
关键词：
激光干涉仪，位移测量，纳米级技术，光学设计;
D O I：
暂无
中图分类号：
TH744.3 [];
学科分类号：
摘要：
提出了一种５０μｍ测量范围内，２ｎｍ不确定度、０．５ｎｍ分辨率的二维激光外差偏振干涉仪的设计。其中用声光调制器和稳频Ｈｅ－Ｎｅ激光器获取频差小于２００ｋＨｚ的正交偏振双频激光束，Ｘ和Ｙ二臂偏振干涉仪将采用差分干涉仪，采用相位解调技术进行外差干涉信号的处理。
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