低电阻p-DBR结构的模拟分析

被引:2
作者
马丽娜
郭霞
盖红星
渠红伟
董立闽
邓军
廉鹏
沈光地
机构
[1] 北京工业大学电子信息与控制工程学院
[2] 北京市光电子技术实验室
基金
北京市自然科学基金;
关键词
渐变布拉格反射器; 渐变形状; 价带势垒;
D O I
10.13290/j.cnki.bdtjs.2005.06.015
中图分类号
TN248 [激光器];
学科分类号
摘要
设计了低电阻的渐变型分布布拉格反射器(DBR)结构,模拟分析了采用渐变p-DBR结构对价带能带的影响,并详细讨论了渐变形状、渐变区宽度、掺杂浓度等参数对低电阻渐变DBR结构的价带势垒的影响。利用MOCVD技术制备了实验样品,模拟结果与实验数据基本吻合。
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