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- [6] 超精密加工技术与设备[M]. 化学工业出版社 , 文秀兰[等]编著, 2006
- [7] 激光在GaAs晶圆厂表面不俗 .2 MichaelHatcher. 化合物半导体与光电技术/[中国版] . 2008
激光技术在半导体行业中的应用
被引：6
作者：
杨洪星
刘晓伟
陈亚楠
武永超
赵权
机构：
[1] 中国电子科技集团公司第四十六研究所
来源：
关键词：
激光;
激光打标;
激光测试;
脉冲退火技术;
D O I：
暂无
中图分类号：
TN249 [激光的应用];
TN302 [设计与计算];
学科分类号：
摘要：
激光技术自诞生以来,受到了广泛地关注,并逐步拓展了其应用领域。对激光技术在晶片/芯片加工领域的应用、激光打标技术、激光测试技术以及激光脉冲退火技术(LSA)进行简要的介绍。
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