采用钛-铝-钼过渡层在铜基底上沉积金刚石薄膜的研究

被引：8

作者：

程春晓

姚宁

马丙现

杨仕娥

赵永梅

张兵临

机构：

[1] 郑州大学材料物理教育部重点实验室

来源：

真空与低温 | 2005年 / 01期

关键词：

金刚石薄膜; 化学气相沉积; 铜基底; 过渡层;

D O I：

暂无

中图分类号：

TB43 [薄膜技术];

学科分类号：

0805 ;

摘要：

采用钛-铝-钼过渡层研究了铜基片上金刚石薄膜的化学气相沉积。用SEM和Raman谱研究了薄膜的形貌和质量。用XRD分析了膜基间形成的化合物的成分,并进一步分析了铝的存在对膜基结合力的影响。实验证明,钛-铝-钼过渡层的存在显著提高了金刚石薄膜与铜基底的结合力。

引用

页码：46 / 49

页数：4

共 3 条

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