微型零件三维几何尺寸测量系统

被引：2

作者：

徐毓娴，李庆祥，白立芬，于水

机构：

[1] 清华大学

来源：

仪器仪表学报 | 1996年 / S1期

关键词：

尺寸测量; 微型零件; 三维几何;

D O I：

10.19650/j.cnki.cjsi.1996.s1.093

中图分类号：

TH921 [];

学科分类号：

0802 ;

摘要：

介绍用于纳米技术中的微型零件三维几何尺寸测量系统的原理，测量中的关键技术，对该系统进行了实测，实验结果表明：ｘ，ｙ重复测量精度为±０．００５μｍ，ｚ方向测量精度为５ｎｍ。

引用

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页码：319 / 321+326

页数：4

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清华大学学报(自然科学版), 1990, (05) :38-44