学术探索
学术期刊
新闻热点
数据分析
智能评审
立即登录
微细光成型固化工艺参数优化
被引:3
作者
:
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
王翔
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
赵钢
马德盛
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
马德盛
黄文浩
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
黄文浩
机构
:
[1]
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
来源
:
光学精密工程
|
2007年
/ 04期
基金
:
安徽省自然科学基金;
关键词
:
微细加工;
微细光成型;
光固化;
工艺优化;
D O I
:
暂无
中图分类号
:
TN405 [制造工艺];
学科分类号
:
080903 ;
1401 ;
摘要
:
为了分析紫外光对液态光敏树脂进行曝光固化成型过程中工艺参数对固化物的形状和精度的影响,根据自行研制的实验系统的大量数据,对线形固化中的主要工艺参数进行了分析和优化。结果表明,在单层液态树脂膜厚30μm,曝光光束功率0.15μW,扫描速度15μm/s以及工作距650μm时能够得到具有较高精度线宽和线高的固化直线段,利用优化的工艺参数,成功实现了三维微小实体结构的成型制造。
引用
收藏
页码:453 / 459
页数:7
相关论文
共 6 条
[1]
先进激光制造技术研究新进展
[J].
姚振强
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海交通大学机械与动力工程学院
姚振强
;
Yao Y Lawrence
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海交通大学机械与动力工程学院
Yao Y Lawrence
;
王飞
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海交通大学机械与动力工程学院
王飞
;
刘刚
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海交通大学机械与动力工程学院
刘刚
.
机械工程学报,
2003,
(12)
:57
-61
[2]
双光子三维微细加工技术及实验系统的开发
[J].
蒋中伟
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
蒋中伟
;
袁大军
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
袁大军
;
祝安定
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
祝安定
;
夏安东
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
夏安东
;
黄文浩
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
黄文浩
;
褚家如
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
褚家如
;
刘允萍
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
刘允萍
.
光学精密工程,
2003,
(03)
:234
-238
[3]
微光成型法微细光束紫外光源的研制
[J].
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
王翔
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
沈连官
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
胡玉禧
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
赵钢
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
李川奇
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
潘微燕
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
刘群策
.
光学技术,
2001,
(05)
:469
-471+480
[4]
特种微型机械加工技术
[J].
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
李勇
;
郭旻
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
清华大学精密仪器与机械学系!北京
郭旻
;
周兆英
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
清华大学精密仪器与机械学系!北京
周兆英
.
光学精密工程,
2000,
(03)
:287
-291
[5]
激光光刻成型法在微型机械研究中的应用
[J].
沈连官,王翔,邓益民
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
沈连官,王翔,邓益民
.
光学精密工程,
1995,
(02)
:11
-15
[6]
增强解离荧光分析[P]. I·赫米莱;K·布罗姆伯格;V·-M·穆卡拉;H·哈卡拉.中国专利:CN1650165A,2005-08-03
←
1
→
共 6 条
[1]
先进激光制造技术研究新进展
[J].
姚振强
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海交通大学机械与动力工程学院
姚振强
;
Yao Y Lawrence
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海交通大学机械与动力工程学院
Yao Y Lawrence
;
王飞
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海交通大学机械与动力工程学院
王飞
;
刘刚
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
上海交通大学机械与动力工程学院
刘刚
.
机械工程学报,
2003,
(12)
:57
-61
[2]
双光子三维微细加工技术及实验系统的开发
[J].
蒋中伟
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
蒋中伟
;
袁大军
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
袁大军
;
祝安定
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
祝安定
;
夏安东
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
夏安东
;
黄文浩
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
黄文浩
;
褚家如
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
褚家如
;
刘允萍
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
刘允萍
.
光学精密工程,
2003,
(03)
:234
-238
[3]
微光成型法微细光束紫外光源的研制
[J].
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
王翔
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
沈连官
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
胡玉禧
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
赵钢
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
李川奇
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
潘微燕
;
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
刘群策
.
光学技术,
2001,
(05)
:469
-471+480
[4]
特种微型机械加工技术
[J].
论文数:
引用数:
h-index:
机构:
李勇
;
郭旻
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
清华大学精密仪器与机械学系!北京
郭旻
;
周兆英
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
清华大学精密仪器与机械学系!北京
周兆英
.
光学精密工程,
2000,
(03)
:287
-291
[5]
激光光刻成型法在微型机械研究中的应用
[J].
沈连官,王翔,邓益民
论文数:
0
引用数:
0
h-index:
0
机构:
中国科学技术大学精密机械与精密仪器系
沈连官,王翔,邓益民
.
光学精密工程,
1995,
(02)
:11
-15
[6]
增强解离荧光分析[P]. I·赫米莱;K·布罗姆伯格;V·-M·穆卡拉;H·哈卡拉.中国专利:CN1650165A,2005-08-03
←
1
→