适用于恶劣环境的MEMS压阻式压力传感器

被引：33

作者：

伞海生 ^{[1
,2
]}

宋子军 ^{[1
]}

王翔 ^{[1
]}

赵燕立 ^{[1
]}

余煜玺 ^{[3
]}

机构：

[1] 厦门大学物理与机电工程学院机电工程系

[2] 厦门大学萨本栋微纳米技术研究院微机电中心

[3] 厦门大学材料学院材料科学与工程系

来源：

光学精密工程 | 2012年 / 20卷 / 03期

关键词：

微机电系统; 压阻式压力传感器; 恶劣环境; 可靠性;

D O I：

暂无

中图分类号：

TP212.12 [];

学科分类号：

摘要：

为了消除潮湿、酸碱、静电颗粒等恶劣环境对压力传感器压敏电阻的影响,提出了一种新型结构的压阻式压力传感器。该传感器将压敏电阻置于应力薄膜的下表面并通过阳极键合技术密封在真空压力腔中,从而减少了外界环境对压敏电阻的影响。介绍了此种压力传感器的工作原理,使用ANSYS软件并结合有限元方法模拟了压敏薄膜在压力作用下的应力分布情况。最后,利用微机电系统(MEMS)技术成功制作出了尺寸为1.5mm×1.5mm×500μm的压阻式压力传感器。用压力检测平台对该压力传感器进行了测试,结果表明,在25～125℃,其线性度小于2.73%,灵敏度约为20mV/V-MPa,满足现代工业使用要求。

引用

页码：550 / 555

页数：6

共 6 条

[1] 应用于特殊环境的光纤光栅温度压力传感器 [J].

王宏亮 ;

宋娟 ;

冯德全 ;

邬华春 .

光学精密工程, 2011, 19 (03) :545-551

[2] 组合热膜式流速矢量传感器 [J].

阙瑞义 ;

朱荣 ;

刘鹏 ;

周兆英 .

光学精密工程, 2011, 19 (01) :103-109

[3] MEMS机油压力传感器可靠性研究 [J].

关荣锋 .

微纳电子技术, 2007, (Z1) :176-178+202

[4] Sensitivity analysis of packaging effect of silicon-based piezoresistive pressure sensor [J].

Chou, Tsung-Lin ;

Chu, Chen-Hung ;

Lin, Chun-Te ;

Chiang, Kuo-Ning .

SENSORS AND ACTUATORS A-PHYSICAL, 2009, 152 (01) :29-38

[5]

Direct Al–Al contact using low temperature wafer bonding for integrating MEMS and CMOS devices.[J].H. Lin;J.T.M. Stevenson;A.M. Gundlach;C.C. Dunare;A.J. Walton.Microelectronic Engineering.2008, 5

[6]

扩镓基区晶体管负阻效应的研究.[D].修显武.山东师范大学.2003, 03

← 1 →