精密测头技术的演变与发展趋势

本文从历史发展角度考察了精密测头技术的发展,分析了触发式测头、扫描式测头和非接触式光学测头的特点和应用范围,给出了最新测头案例,并对市场上存在的几种测头进行了性能比较,最后论述了精密测头技术的发展趋势。高精度、高效率、高集成化、多功能、数字化以及发展非接触测头是今后精密测头的发展方向。